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单晶炉滑阀真空泵的知识简介和技术参数介绍

信息来源:eoovoo.com  时间:2010-10-08  浏览次数:134

  目前国内单晶炉、多晶炉配用真空泵以滑阀真空泵2H120、滑阀真空泵2H150、滑阀真空泵2H70居多。其中清理单晶炉仍然使用水环真空泵2SK-6B型号。多晶硅炉配套真空泵可根据用户情况定制各类真空机组。
  单晶炉滑阀真空泵2H70 主要性能参数:
  极限真空:6X10-2
  抽气速率:70L/S
  配用功率:7.5KW
  进气口径80mm
  排气口径76mm
  水环真空泵2SK-6B主要性能参数:
  极限真空:3300Pa
  抽气速率:6m3/min
  进排气口径:50mm
  配用功率:11KW

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